直线电机
直线电机
直线电机是否适用于洁净室
直线电机是否适用于洁净室，事实上，许多前端半导体应用都使用直线电机。如:在晶圆制造工厂,高精度光刻机放置在在等级为10的洁净室里,直线电机应用于其中XY定位平台,使用纳米分辨率来实现亚微米级精度。直线电机越来越受欢迎在更多的应用领域中,直线电机也应用在其它领域中,如半导体后端包装,测试,拾取与放置，硬盘的装配与测试等等,许多应用都是在洁净室里。在洁净室里,相比较传统的滚珠丝杠驱动,直线电机的优势:
驱动机构没有接触。因此没有磨损而导致粒子生成。直线电机不需要润滑剂。润滑剂也是污染源。
驱动机构没有接触。因此没有磨损而导致粒子生成。直线电机不需要润滑剂。润滑剂也是污染源。
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